再生加工
膜付け試験やダストチェック後のウエハーを鏡面研磨仕上げ後の状態に再生します。
仕上げには鏡面研磨加工を行いますので、ウエハーの厚みは多少薄くなります。
受け取り検査
膜除去処理(エッチング・ラップなど)
検査（膜除去状態・キズ・厚さなど）
鏡面研磨
洗浄処理
検査（厚さ・平坦度・表面ゴミなど）
梱包
サイズダウン加工
モニターやダミーとして使用済などのウエハーを小口径へリメイクします。
再生加工では厚さが薄くなり再生できないウエハーも、小口径にすることにより
その口径の標準仕上げ厚さで使用することが可能です。
また、小口径にして再使用するため、廃棄が減少し環境にも配慮できます。
・12インチウエハーから取れる枚数
6インチ→2枚
5インチ→3枚
4インチ→5枚
3インチ→8枚
2インチ→18枚
・8インチウエハーから取れる枚数
6インチ→1枚
5インチ→1枚
4インチ→2枚
3インチ→4枚
2インチ→8枚